patentverein.de - Patente
Patentethik
Überwachung
Beispielhaft
Trivial
Kurios
Unverständlich
Zurück Original-Dokument
Europäisches Patentamt

METHOD AND APPARATUS FOR INCREASING SIGNAL TO NOISE RATIO IN A PHOTOACOUSTIC FILM THICKNESS MEASUREMENT SYSTEM | VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERHÖHUNG DES SIGNAL/RAUSCH-VERHÄLTNISSES IN EINEM PHOTOAKUSTISCHEN FILMDICKEMESSSYSTEM | PROCEDE ET APPAREIL PHOTOACOUSTIQUE PERMETTANT D'AUGMENTER LE RAPPORT SIGNAL/BRUIT DANS UN SYSTEME DE MESURE DE L'EPAISSEUR D'UN FILM

Patentnummer:EP1417450B1
IPC Hauptklasse:G01B001106
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:12.07.02
Offenlegung:13.07.01
Patenterteilung:27.12.17

Abstract / Hauptanspruch
An apparatus for improving the signal to noise ratio of measurements of the thickness of layers in a thin film stack uses a photoacoustic measurement system that includes a time differentiation system for inducing a delay in pump beam pulses. The time differentiation system uses, among other things, a birefringent element and other elements to control the polarization of pump beam pulses. Use of the apparatus involves applying a time varying voltage to an electro-optic modulator driver and setting a time differentiation step; or, in another embodiment, applying a time varying voltage to an electro-optic modulator to induce a fixed time delay delta-t between a vertically polarized pulse and a horizontally polarized pulse. The high frequency operation of the system provides for improved determinations of film thickness.

L'invention concerne un appareil servant à améliorer le rapport signal/bruit des mesures de l'épaisseur des couches d'une pile de films minces, équipé d'un système de mesure photoacoustique comprenant un système de différenciation temporelle permettant d'introduire un retard dans les impulsions de faisceau de pompage. Le système de différenciation temporelle utilise, entre autres, un élément biréfringent ainsi que d'autres éléments pour régler la polarisation des impulsions de faisceau de pompage. Le procédé d'utilisation de l'appareil consiste à appliquer une tension à variation temporelle à une commande de modulateur électro-optique et à procéder à une étape de différenciation temporelle, ou, dans un autre mode de réalisation, à appliquer une tension à variation temporelle à un modulateur électro-optique pour induire un retard temporel fixe delta-t entre une impulsion polarisée verticalement et une impulsion polarisée horizontalement. L'exploitation haute fréquence du système permet d'améliorer l'évaluation de l'épaisseur de film.

EP1417450B1


Kommentare zu diesem Patent schicken Sie bitte an .