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Europäisches Patentamt

METHOD FOR ELECTRONICALLY CONTROLLING A MEASUREMENT SUPPORT | VERFAHREN ZUR ELEKTRONISCHEN ANSTEUERUNG EINES MESSSTATIVS | PROCEDE DE COMMANDE ELECTRONIQUE D'UN SUPPORT DE MESURE

Patentnummer:EP3064896B1
IPC Hauptklasse:G01B002104
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:01.03.16
Offenlegung:04.03.15
Patenterteilung:13.12.17

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur elektrischen Ansteuerung eines Messstativs (11) mit einer Verfahrbewegung von zumindest einer Messsonde (26) aus einer Ausgangsposition (31) in eine Messposition (32), insbesondere zur Messung der Dicke dünner Schichten, bei dem für die Verfahrbewegung der Messsonde (26) ein Motor (34) angesteuert wird, der über eine Antriebseinrichtung (35) einen Stößel (23), an dem die Messsonde (26) befestigt wird, zumindest zur Durchführung einer Messung auf und ab bewegt, wobei vor einer ersten Messung mit der Messsonde (26) eine Lernroutine durchlaufen wird, und zur nachfolgenden Durchführung von einer oder mehreren Messungen die Messsonde (26) aus der Ausgangsposition (31) in die Messposition (32) übergeführt wird, und der Verfahrweg der Messsonde (26) aus der Ausgangsposition (31) in die Messposition (32) in einen Eilgang und vor dem Aufsetzen der Messsonde (26) auf dem Messgegenstand (14) in einen Kriechgang untergliedert wird, wobei die Anzahl der Impulse für den Eilgang um die Anzahl der Impulse für den Kriechgang ausgehend von der gesamten Anzahl der ermittelten Impulse für den Verfahrweg reduziert ist und die Anzahl der Impulse für den Verfahrweg im Eilgang ein Vielfaches von der Anzahl der Impulse des Verfahrweges im Kriechgang ist.

EP3064896B1


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