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Europäisches Patentamt

Messanordnung und Verfahren zum Bestimmen einer Topografie einer technischen Oberfläche

Patentnummer:DE102016118262B4
IPC Hauptklasse:G01B001130
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:27.09.16
Offenlegung:27.09.16
Patenterteilung:21.06.18

Abstract / Hauptanspruch
Messanordnung zum Bestimmen einer Topografie einer Oberfläche (01), umfassend:
- eine Lichtquelle (03) zum Aussenden eines Lichtstrahles auf die Oberfläche (01);
- eine mit der Lichtquelle (03) mechanisch verbundene positionssensitive Fotodetektoreinheit (06) zum Wandeln des von der Oberfläche (01) auf einen sich in einer ersten Messrichtung (x) erstreckenden Messabschnitt der Fotodetektoreinheit (06) reflektierten Lichtes in mindestens ein erstes Messsignal und ein zweites Messsignal, deren Summe das auf den Messabschnitt reflektierte Licht repräsentiert, wobei das erste Messsignal abhängig von der Position in der ersten Messrichtung (x) des auf den Messabschnitt reflektierten Lichtes ist, wobei die positionssensitive Fotodetektoreinheit (06) weiterhin zum Wandeln des von der Oberfläche (01) auf den Messabschnitt reflektierten Lichtes in ein drittes Messsignal und ein viertes Messsignal ausgebildet ist, deren Summe das auf den Messabschnitt reflektierte Licht repräsentiert, und wobei das dritte Messsignal quadratisch abhängig von der Position in der ersten Messrichtung (x) des auf den Messabschnitt reflektierten Lichtes ist; und
- eine Auswerteeinheit (07), die zu einer laufenden Bestimmung einer mittleren Lage (x M) einer Streuwinkelverteilung des auf den Messabschnitt reflektierten Lichtes durch Bildung eines Verhältnisses des ersten Messsignals zu der Summe aus dem ersten Messsignal und dem zweiten Messsignal sowie zu einer laufenden Bestimmung einer Varianz der Streuwinkelverteilung des auf den Messabschnitt reflektierten Lichtes durch eine ergänzende Bildung eines Verhältnisses des dritten Messsignals zur Summe aus dem dritten Messsignal und dem vierten Messsignal konfiguriert ist.

DE102016118262B4


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