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Europäisches Patentamt

Verfahren und optischer Sensor zur Bestimmung mindestens einer Koordinate mindestens eines Messobjekts

Patentnummer:DE102016225484B3
IPC Hauptklasse:G01B001114
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
Carl Zeiss Strasse 22, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
Anmeldung:19.12.16
Offenlegung:19.12.16
Patenterteilung:07.06.18

Abstract / Hauptanspruch
Es wird ein optischer Sensor (110) zur Bestimmung mindestens einer Koordinate mindestens eines Messobjekts (112) vorgeschlagen. Der optische Sensor (110) umfasst:
mindestens ein erstes Blendenelement (116) und mindestens eine Beleuchtungsvorrichtung (118), welche eingerichtet ist, mindestens einen Beleuchtungslichtstrahl zu erzeugen und das Messobjekt (112) durch das erste Blendenelement (116) hindurch zu beleuchten;
mindestens ein Sensorelement (120), welches eingerichtet ist, mindestens einen Anteil mindestens eines von dem Messobjekt (112) ausgehenden Detektionslichtstrahls zu detektieren und mindestens eine Intensitätsverteilung zu bestimmen;
mindestens ein optisches Element (122), welches eingerichtet ist, mindestens einen Anteil des Beleuchtungslichtstrahls an mindestens einem Fokuspunkt entlang einer optischen Achse (124) des optischen Elements (122) zu fokussieren, wobei der optische Sensor (110) eingerichtet ist, um mindestens einen ersten Fokuspunkt und mindestens einen zweiten Fokuspunkt entlang der optischen Achse (124) einzustellen;
mindestens eine Vorrichtung zur Variation einer relativen lateralen Position (128), welche eingerichtet ist, mindestens eine relative laterale Position der optischen Achse (124) zu dem Messobjekt (112) einzustellen.
Der optische Sensor (110) ist eingerichtet, für den ersten Fokuspunkt und den zweiten Fokuspunkt jeweils mindestens eine erste Intensitätsverteilung an mindestens einer ersten relativen lateralen Position und mindestens eine zweite Intensitätsverteilung an mindestens einer zweiten relativen lateralen Position zu bestimmen. Der optische Sensor (110) weist weiterhin mindestens eine Auswerteeinheit (132) auf, welche eingerichtet ist, aus der ersten Intensitätsverteilung und der zweiten Intensitätsverteilung für den ersten Fokuspunkt und der ersten Intensitätsverteilung und der zweiten Intensitätsverteilung für den zweiten Fokuspunkt mindestens eine Abstandskoordinate und/oder mindestens eine laterale Koordinate des Messobjekts (112) zu bestimmen.

DE102016225484B3


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